Radical-triggered cross-linking for molecular layer deposition of SiAlCOH hybrid thin films
- Ashurbekova, K.
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- Petravic, M.
- Abdulagatov, I.
- Abdulagatov, A.
- Knez, M.
ISSN: 1364-548X, 1359-7345
Datum der Publikation: 2021
Ausgabe: 57
Nummer: 17
Seiten: 2160-2163
Art: Artikel