Radical-triggered cross-linking for molecular layer deposition of SiAlCOH hybrid thin films

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravic, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Any de publicació: 2021

Volum: 57

Número: 17

Pàgines: 2160-2163

Tipus: Article

DOI: 10.1039/D0CC07858A GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus