Amorphous AlN films grown by ALD from trimethylaluminum and monomethylhydrazine

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Revista:
Dalton Transactions

ISSN: 1477-9234,  1477-9226

Año de publicación: 2021

Volumen: 50

Número: 42

Páginas: 15062-15070

Tipo: Artículo

DOI: 10.1039/D1DT02529E GOOGLE SCHOLAR
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