Amorphous AlN films grown by ALD from trimethylaluminum and monomethylhydrazine

  1. Parkhomenko, R.G.
  2. De Luca, O.
  3. Kołodziejczyk, L.
  4. Modin, E.
  5. Rudolf, P.
  6. Martínez Martínez, D.
  7. Cunha, L.
  8. Knez, M.
Aldizkaria:
Dalton Transactions

ISSN: 1477-9234,  1477-9226

Argitalpen urtea: 2021

Alea: 50

Zenbakia: 42

Orrialdeak: 15062-15070

Mota: Artikulua

DOI: 10.1039/D1DT02529E GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus