Process optimization for the effective reduction of threading dislocations in MOVPE grown GaN using in situ deposited SiNx masks
- Hertkorn, J.
- Lipski, F.
- Brückner, P.
- Wunderer, T.
- Thapa, S.B.
- Scholz, F.
- Chuvilin, A.
- Kaiser, U.
- Beer, M.
- Zweck, J.
ISSN: 0022-0248
Argitalpen urtea: 2008
Alea: 310
Zenbakia: 23
Orrialdeak: 4867-4870
Mota: Artikulua