Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Gobbi, M.
  5. Modin, E.
  6. Chuvilin, A.
  7. Petravic, M.
  8. Abdulagatov, I.
  9. Knez, M.
Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 1520-5002,  0897-4756

Ano de publicación: 2021

Volume: 33

Número: 3

Páxinas: 1022-1030

Tipo: Artigo

DOI: 10.1021/ACS.CHEMMATER.0C04408 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus