Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane

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Zeitschrift:
Chemistry of Materials

ISSN: 1520-5002,  0897-4756

Datum der Publikation: 2021

Ausgabe: 33

Nummer: 3

Seiten: 1022-1030

Art: Artikel

DOI: 10.1021/ACS.CHEMMATER.0C04408 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus