Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Gobbi, M.
  5. Modin, E.
  6. Chuvilin, A.
  7. Petravic, M.
  8. Abdulagatov, I.
  9. Knez, M.
Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 1520-5002,  0897-4756

Any de publicació: 2021

Volum: 33

Número: 3

Pàgines: 1022-1030

Tipus: Article

DOI: 10.1021/ACS.CHEMMATER.0C04408 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus