Hydrosiloxane modified styrene-diene block copolymer resists

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

Año de publicación: 1993

Volumen: 1925

Páginas: 499-506

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.154785 GOOGLE SCHOLAR
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