Investigations of the adhesion of maleic anhydride/cyclic olefin alternating copolymers to silicon substrates: Improved materials for 193 NM lithography
- Pasquale, A.J.
- Long, T.E.
- Truong, H.
- Allen, R.D.
ISSN: 0021-8464
Datum der Publikation: 2002
Ausgabe: 78
Nummer: 1
Seiten: 1-13
Art: Artikel