Investigations of the adhesion of maleic anhydride/cyclic olefin alternating copolymers to silicon substrates: Improved materials for 193 NM lithography
- Pasquale, A.J.
- Long, T.E.
- Truong, H.
- Allen, R.D.
ISSN: 0021-8464
Any de publicació: 2002
Volum: 78
Número: 1
Pàgines: 1-13
Tipus: Article