CD SEM calibration to TEM for accurate metrology of FINs in MuGFET devices

  1. Lorusso, G.F.
  2. Collaert, N.
  3. Rooyackers, R.
  4. Ercken, M.
  5. Pollentier, I.
  6. Cheng, S.
  7. Degroote, B.
  8. Jurczak, M.
  9. Biesemans, S.
  10. Richard, O.
  11. Bender, H.
  12. Azordegan, A.
  13. Kuppa, R.
  14. Shirke, S.
  15. Prochazka, J.
  16. Long, T.
Actes de conférence:
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings

ISSN: 1523-553X

Année de publication: 2005

Pages: 169-172

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/ISSM.2005.1513326 GOOGLE SCHOLAR
La source de données: Scopus