CD SEM calibration to TEM for accurate metrology of FINs in MuGFET devices

  1. Lorusso, G.F.
  2. Collaert, N.
  3. Rooyackers, R.
  4. Ercken, M.
  5. Pollentier, I.
  6. Cheng, S.
  7. Degroote, B.
  8. Jurczak, M.
  9. Biesemans, S.
  10. Richard, O.
  11. Bender, H.
  12. Azordegan, A.
  13. Kuppa, R.
  14. Shirke, S.
  15. Prochazka, J.
  16. Long, T.
Konferenzberichte:
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings

ISSN: 1523-553X

Datum der Publikation: 2005

Seiten: 169-172

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/ISSM.2005.1513326 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus