CD SEM calibration to TEM for accurate metrology of FINs in MuGFET devices

  1. Lorusso, G.F.
  2. Collaert, N.
  3. Rooyackers, R.
  4. Ercken, M.
  5. Pollentier, I.
  6. Cheng, S.
  7. Degroote, B.
  8. Jurczak, M.
  9. Biesemans, S.
  10. Richard, O.
  11. Bender, H.
  12. Azordegan, A.
  13. Kuppa, R.
  14. Shirke, S.
  15. Prochazka, J.
  16. Long, T.
Actes:
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings

ISSN: 1523-553X

Any de publicació: 2005

Pàgines: 169-172

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/ISSM.2005.1513326 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus