3D macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors

  1. Sancho, A.
  2. Etxeberria, J.A.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2007

Volumen: 84

Número: 5-8

Páginas: 1308-1311

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.233 GOOGLE SCHOLAR

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