3D macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors
- Sancho, A.
- Etxeberria, J.A.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0167-9317
Argitalpen urtea: 2007
Alea: 84
Zenbakia: 5-8
Orrialdeak: 1308-1311
Mota: Artikulua
ISSN: 0167-9317
Argitalpen urtea: 2007
Alea: 84
Zenbakia: 5-8
Orrialdeak: 1308-1311
Mota: Artikulua