Structural, mechanical and piezoelectric properties of polycrystalline AlN films sputtered on titanium bottom electrodes
- Pətru, M.
- Isac, L.
- Cunha, L.
- Martins, P.
- Lanceros-Mendez, S.
- Oncioiu, G.
- Cristea, D.
- Munteanu, D.
Revista:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Ano de publicación: 2015
Volume: 354
Páxinas: 267-278
Tipo: Achega congreso