Structural, mechanical and piezoelectric properties of polycrystalline AlN films sputtered on titanium bottom electrodes
- Pətru, M.
- Isac, L.
- Cunha, L.
- Martins, P.
- Lanceros-Mendez, S.
- Oncioiu, G.
- Cristea, D.
- Munteanu, D.
Aldizkaria:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Argitalpen urtea: 2015
Alea: 354
Orrialdeak: 267-278
Mota: Biltzar ekarpena