Structural, mechanical and piezoelectric properties of polycrystalline AlN films sputtered on titanium bottom electrodes

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 354

Seiten: 267-278

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2015.07.022 GOOGLE SCHOLAR
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