Thin-film bulk acoustic resonators and filters using ZnO and lead-zirconium-titanate thin films

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Revista:
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques

ISSN: 0018-9480

Año de publicación: 2001

Volumen: 49

Número: 4 II

Páginas: 769-778

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/22.915462 GOOGLE SCHOLAR
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