Soft lithographic patterning of oxide thin films

  1. Abad, E.
  2. Whatmore, R.W.
  3. Zhang, Q.
  4. Huang, Z.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Año de publicación: 2003

Volumen: 5116 I

Páginas: 176-184

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.499780 GOOGLE SCHOLAR
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