Direct patterning of photosensitive chemical solution deposition PZT layers
- Marson, S.
- Dorey, R.A.
- Zhang, Q.
- Whatmore, R.W.
- Hardy, A.
- Mullens, J.
ISSN: 0955-2219
Ano de publicación: 2004
Volume: 24
Número: 6
Páxinas: 1925-1928
Tipo: Artigo
ISSN: 0955-2219
Ano de publicación: 2004
Volume: 24
Número: 6
Páxinas: 1925-1928
Tipo: Artigo