Direct patterning of photosensitive chemical solution deposition PZT layers
- Marson, S.
- Dorey, R.A.
- Zhang, Q.
- Whatmore, R.W.
- Hardy, A.
- Mullens, J.
ISSN: 0955-2219
Any de publicació: 2004
Volum: 24
Número: 6
Pàgines: 1925-1928
Tipus: Article
ISSN: 0955-2219
Any de publicació: 2004
Volum: 24
Número: 6
Pàgines: 1925-1928
Tipus: Article