Nanoindentation of multilayer PZT/Pt/SiO2 thin film systems on silicon wafers for MEMS applications

  1. Chima-Okereke, C.
  2. Reece, M.J.
  3. Bushby, A.J.
  4. Whatmore, R.W.
  5. Zhang, Q.
Actas:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

Año de publicación: 2005

Volumen: 841

Páginas: 351-356

Tipo: Aportación congreso

GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus