Design, fabrication and characterisation of high frequency piezoelectric micromachined ultrasonic transducers

  1. Duval, F.
  2. Hladky-Hennion, A-C.
  3. Cattan, E.
  4. Zhang, Q.
  5. Dorey, R.
Actas:
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium

ISSN: 1051-0117

ISBN: 9781424402014

Año de publicación: 2006

Volumen: 1

Páginas: 1959-1962

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ULTSYM.2006.495 GOOGLE SCHOLAR
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