Sol-gel fabrication of PZT thick films for MEMS
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Année de publication: 2007
Volumen: 88
Número: 1
Pages: 93-102
Type: Communication dans un congrès
Revue:
Integrated Ferroelectrics