Sol-gel fabrication of PZT thick films for MEMS
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Datum der Publikation: 2007
Ausgabe: 88
Nummer: 1
Seiten: 93-102
Art: Konferenz-Beitrag
Zeitschrift:
Integrated Ferroelectrics