Sol-gel fabrication of PZT thick films for MEMS
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Any de publicació: 2007
Volum: 88
Número: 1
Pàgines: 93-102
Tipus: Aportació congrés
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Any de publicació: 2007
Volum: 88
Número: 1
Pàgines: 93-102
Tipus: Aportació congrés