Fabrication of high aspect ratio nanostructures on 3D surfaces

  1. Senn, T.
  2. Esquivel, J.P.
  3. Sabaté, N.
  4. Löchel, B.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2011

Volumen: 88

Número: 9

Páginas: 3043-3048

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2011.05.004 GOOGLE SCHOLAR
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