Linear optical encoders manufactured by imprint lithography

  1. Merino, S.
  2. Retolaza, A.
  3. Lizuain, I.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2006

Alea: 83

Zenbakia: 4-9 SPEC. ISS.

Orrialdeak: 897-901

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2006.01.018 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak