Linear optical encoders manufactured by imprint lithography

  1. Merino, S.
  2. Retolaza, A.
  3. Lizuain, I.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 83

Nummer: 4-9 SPEC. ISS.

Seiten: 897-901

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2006.01.018 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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