Linear optical encoders manufactured by imprint lithography

  1. Merino, S.
  2. Retolaza, A.
  3. Lizuain, I.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2006

Volum: 83

Número: 4-9 SPEC. ISS.

Pàgines: 897-901

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2006.01.018 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus