Resistive switching dependence on atomic layer deposition parameters in HfO2-based memory devices

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Zeitschrift:
Journal of Materials Chemistry C

ISSN: 2050-7534 2050-7526

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 2

Nummer: 17

Seiten: 3204-3211

Art: Artikel

DOI: 10.1039/C3TC31819B GOOGLE SCHOLAR