Design of a new FSMA-based actuator for nanopositioning applications

  1. Asua, E.
  2. Sadeghzadeh, A.
  3. Feuchtwanger, J.
  4. García-Arribas, A.
  5. Etxebarria, V.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819490872

Année de publication: 2012

Volumen: 8409

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1117/12.923218 GOOGLE SCHOLAR
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