PROCEDIMIENTO DE DEPOSICIÓN DE NANOPARTÍCULAS METÁLICAS POR DEPOSICIÓN FÍSICA EN FASE DE VAPOR Y PROCEDIMIENTO DE GENERACIÓN DE RUGOSIDADES.

    Inventores/as:
  1. FELISBERTO, Marcos
  2. SACCO, Leandro
  3. RUBIOLO, Gerardo
  4. GOYANES, Silvia
  5. Mª Aranzazu Eceiza Mendiguren
  6. KORTABARRIA ALZERREKA, Gardel
  7. MONDRAGON EGAÑA, Iñaki
  1. Universidad del País Vasco/Euskal Herriko Unibertsitatea
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    Universidad del País Vasco/Euskal Herriko Unibertsitatea

    Lejona, España

  2. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
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    Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas

    Buenos Aires, Argentina

ES
Publicación principal:

ES2445201A1 (28-02-2014)

Otras Publicaciones:

ES2445201B1 (29-09-2014)

Solicitudes:

P201231223 (30-07-2012)

Resumen

Procedimiento de deposición de nanopartículas metálicas por deposición física en fase de vapor y procedimiento de generación de rugosidades.

Procedimiento de deposición de nanopartículas metálicas en todo tipo de sustratos por pulverización catódica, donde porque la deposición se realiza a una densidad de potencia entre 0.2-5 W/cm2 a una presión entre 60 y 180 Pa, en presencia de un gas noble. Gracias del procedimiento de la invención es posible depositar nanopartículas sobre cualquier tipo de substrato (polímeros, fibras, silicio...), a bajas temperaturas, en particular a temperatura ambiente, sin limitaciones en el área de deposición y sin restricciones en cuanto al tiempo en el cual se realiza el depósito. Tras la deposición, invirtiendo la polaridad, se pueden realizar rugosidades de escala nanométrica en el sustrato.

INVENES: P201231223