Highly uniform silicon nanopatterning with deep-ultraviolet femtosecond pulses

1. Granados, E.
2. Martinez-Calderon, M.
3. Groussin, B.
4. Colombier, J.P.
5. Santiago, I.

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DOI: 10.1515/NANOPH-2024-0240 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor

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