Highly uniform silicon nanopatterning with deep-ultraviolet femtosecond pulses

  1. Granados, E.
  2. Martinez-Calderon, M.
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  5. Santiago, I.
Revista:
Nanophotonics

ISSN: 2192-8614

Año de publicación: 2024

Volumen: 13

Número: 22

Páginas: 4079-4089

Tipo: Artículo

DOI: 10.1515/NANOPH-2024-0240 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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