Investigating the lateral motion of SiGe islands by selective chemical etching

  1. Katsaros, G.
  2. Rastelli, A.
  3. Stoffel, M.
  4. Isella, G.
  5. Känel, H.v.
  6. Bittner, A.M.
  7. Tersoff, J.
  8. Denker, U.
  9. Schmidt, O.G.
  10. Costantini, G.
  11. Kern, K.
Zeitschrift:
Surface Science

ISSN: 0039-6028

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 600

Nummer: 12

Seiten: 2608-2613

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SUSC.2006.04.027 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung