Tunable all-silicone multi-chamber achromatic microlens

  1. Waibel, P.
  2. Mader, D.
  3. Liebetraut, P.
  4. Zappe, H.
  5. Seifert, A.
Konferenzberichte:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781424496327

Datum der Publikation: 2011

Seiten: 728-731

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/MEMSYS.2011.5734528 GOOGLE SCHOLAR

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