Tunable all-silicone multi-chamber achromatic microlens

  1. Waibel, P.
  2. Mader, D.
  3. Liebetraut, P.
  4. Zappe, H.
  5. Seifert, A.
Actes:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781424496327

Any de publicació: 2011

Pàgines: 728-731

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/MEMSYS.2011.5734528 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible