Tunable MEMS fiber scanner for confocal microscopy
- Weber, N.
- Meinert, T.
- Zappe, H.
- Seifert, A.
ISSN: 1084-6999
ISBN: 9781479935086
Année de publication: 2014
Pages: 881-884
Type: Communication dans un congrès
Actes de conférence:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
