Tunable MEMS fiber scanner for confocal microscopy

  1. Weber, N.
  2. Meinert, T.
  3. Zappe, H.
  4. Seifert, A.
Konferenzberichte:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781479935086

Datum der Publikation: 2014

Seiten: 881-884

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/MEMSYS.2014.6765782 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung