Synthesis and surface engineering of complex nanostructures by atomic layer deposition

  1. Knez, M.
  2. Nielsch, K.
  3. Niinistö, L.
Zeitschrift:
Advanced Materials

ISSN: 0935-9648

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 19

Nummer: 21

Seiten: 3425-3438

Art: Rezension

DOI: 10.1002/ADMA.200700079 GOOGLE SCHOLAR

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