Synthesis and surface engineering of complex nanostructures by atomic layer deposition

  1. Knez, M.
  2. Nielsch, K.
  3. Niinistö, L.
Revista:
Advanced Materials

ISSN: 0935-9648

Any de publicació: 2007

Volum: 19

Número: 21

Pàgines: 3425-3438

Tipus: Revisió

DOI: 10.1002/ADMA.200700079 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible