Atomic layer deposition of Al203 and Ti02 multilayers for applications as bandpass filters and antireflection coatings

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Zeitschrift:
Applied Optics

ISSN: 1539-4522,  1559-128X

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 48

Nummer: 9

Seiten: 1727-1732

Art: Artikel

DOI: 10.1364/AO.48.001727 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus