Multilayer Fresnel zone plate for soft X-ray microscopy resolves sub-39nm structures
- Mayer, M.
- Grévent, C.
- Szeghalmi, A.
- Knez, M.
- Weigand, M.
- Rehbein, S.
- Schneider, G.
- Baretzky, B.
- Schütz, G.
ISSN: 0304-3991, 1879-2723
Datum der Publikation: 2011
Ausgabe: 111
Nummer: 12
Seiten: 1706-1711
Art: Artikel