Recent advances in use of atomic layer deposition and focused ion beams for fabrication of fresnel zone plates for hard X-rays

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X 0277-786X

ISBN: 9780819497017

Año de publicación: 2013

Volumen: 8851

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2027251 GOOGLE SCHOLAR