Tuning of optical properties by atomic layer deposition
- Qin, Y.
- Vogelgesang, R.
- Eßlinger, M.
- Knez, M.
ISSN: 0277-786X
ISBN: 9780819493828
Année de publication: 2013
Volumen: 8613
Type: Communication dans un congrès
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering