Tuning of optical properties by atomic layer deposition
- Qin, Y.
- Vogelgesang, R.
- Eßlinger, M.
- Knez, M.
ISSN: 0277-786X
ISBN: 9780819493828
Datum der Publikation: 2013
Ausgabe: 8613
Art: Konferenz-Beitrag
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering