Tuning of optical properties by atomic layer deposition

  1. Qin, Y.
  2. Vogelgesang, R.
  3. Eßlinger, M.
  4. Knez, M.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819493828

Any de publicació: 2013

Volum: 8613

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.2003613 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus