Multilayer Fresnel zone plates for high energy radiation resolve 21 nm features at 1.2 keV

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Zeitschrift:
Optics Express

ISSN: 1094-4087

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 22

Nummer: 15

Seiten: 18440-18453

Art: Artikel

DOI: 10.1364/OE.22.018440 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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